Trifluorometane ad alta purezza 99,9%

Fluoroform, o trifluorometano, è il composto chimico con la formula chf 3. È un idrofluorocarburo oltre a far parte delle aloforme, una classe di composti con la formula chx3 (x=alogeno) con c3v simytryetry. Sintesi . non è un deepter ozono ma è un gas serra .

Trifluorometano

CAS: 75-28-5

UN: 1984

Einecs: 200-872-4

Formula molecolare: CHF3

Trifluorometano 99 .. . il 9% è diventato indispensabile nella produzione di semiconduttori, in particolare per la fabbricazione avanzata del nodo inferiore a 7nm. Questa specifica richiede un controllo rigoroso delle impurità:<100 ppm moisture, <50 ppm oxygen, and <10 ppm total hydrocarbons. In plasma etch processes, high purity trifluoromethane 99.9% enables anisotropic silicon nitride removal with selectivity ratios exceeding 100:1 relative to oxide layers. The transition to 3D NAND architectures has increased demand for high purity trifluoromethane 99.9% by 25% annually, as these memory structures require extensive etching of high-aspect-ratio features. Gas delivery systems for high purity trifluoromethane 99.9% utilize electropolished stainless steel with ultra-high vacuum fittings, maintaining purity from cylinder to process chamber. Recent quality innovations include real-time FTIR monitoring during filling operations and cylinder passivation techniques that reduce metallic contaminants below 1 ppb. As EUV lithography becomes mainstream, high purity trifluoromethane 99.9% plays an expanding role in chamber cleaning processes that maintain mirror reflectivity.

Il trifluorometano è comunemente usato come refrigerante nei sistemi di refrigerazione e aria condizionata a causa della sua elevata capacità di raffreddamento e bassa tossicità . è usato in una varietà di applicazioni, incluso i sistemi di refrigerazione commerciale, le sue applicazioni in base al condizionamento e sono state sostituite e si sono smart di efficienza. alternative .

• Utilizzare sempre in conformità con la Scheda dati di sicurezza (SDS) .
• Il cilindro deve essere memorizzato e utilizzato in una posizione verticale e protetta in un'area ben ventilata o monitorata .
• Segui sempre i requisiti del codice antincendio locale quando si memorizzano cilindri a gas .
• Maggiori pericoli: fuoco, soffocamento .

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