Gas CF4

Il tetrafluoromethane, noto anche come tetrafluoride di carbonio o r -14, è il perfluorocarbon più semplice (cf4) . come indica anche il suo nome Iupac. Halomethane . tetrafrometano è un utile refrigerante ma anche un potente gas serra . ha una resistenza di legame molto elevata a causa della natura del legame carbonio -fluoro .

Tetrafluoride di carbonio

CAS: 75-73-0

UN: 1982

Einecs: 200-896-5

Formula molecolare: CF4

CF4 gas dominates silicon and silicon nitride etching in chip manufacturing, accounting for 45% of all fluorocarbon gases used in fabs. When ionized in plasma, CF4 gas generates reactive fluorine species that etch at rates up to 1 μm/min with excellent anisotropy. Gas mixtures with oxygen or hydrogen allow precise control of selectivity and sidewall profiles. Environmental abatement systems for CF4 gas achieve >Efficienza di distruzione del 98% usando la combustione a 1.100 gradi seguita da lavaggio . La transizione verso la litografia Extreme Ultraviolet (EUV) ha aumentato il consumo di gas CF4 del 20% per le applicazioni di pulizia di fotomaschetti .

Il tetrafluorometano è talvolta usato come refrigerante a bassa temperatura (r -14) . è usato in microfabbricazione elettronica da solo o in combinazione con ossigeno come usi di neutrone

• Utilizzare sempre in conformità con la Scheda dati di sicurezza (SDS) .
• Il cilindro deve essere memorizzato e utilizzato in una posizione verticale e protetta in un'area ben ventilata o monitorata .
• Segui sempre i requisiti del codice antincendio locale quando si memorizzano cilindri a gas .
• Maggiori pericoli: fuoco, soffocamento .

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